증착공정 (1) 썸네일형 리스트형 반도체 제작시 증착과정~ 궁금해~~ 반도체 제작시 여러 과정을 진행하게 됩니다. 여러 과정을 진행하면서 다양한 소재과 장비가 필요한데요, 특히 증착과정이 중요하다고 합니다. 증착과정에 대해 자세히 알아보겠습니다. 증착이란 무엇인가?반도체 증착은 반도체 제조 공정에서 매우 중요한 단계입니다. 증착이란 특정 기판 위에 얇은 막(박막)을 형성하는 것을 의미합니다. 증착 방법에는 여러 가지가 있습니다. 화학기상증착(CVD: Chemical Vapor Deposition)기체 상태의 반응 전구체를 기판 위에 주입하여 화학 반응을 일으켜 막을 형성합니다.우수한 단차 피복성과 높은 부착력을 가집니다.물리기상증착(PVD: Physical Vapor Deposition)고체 또는 액체 원료를 기화시켜 기판 위에 증착시킵니다.스퍼터링, 열증발, 이온플레이.. 이전 1 다음